詳細說明
>> 技術參數
◆ 外形尺寸(不包括報警燈)
1650(W)×1750(D)×2450(H)mm
◆ 倉體結構(不銹鋼，約1200升)
1003(W)×1270(D)×915(H)mm
◆ 電極面積 (水冷垂直電極)
1117.6(D)×609.6(H)mm ，13層
◆ 等離子發生器(美國AE)
頻率40KHZ,功率0-10KW連續調節,自動阻抗匹配,全電路保護,可連續長時間工作
◆ 控制系統
觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件，性能穩定可靠,并具有手動、自動兩種模式
◆ 真空系統(真空壓力PID閉環自動控制)
英國愛德華(ULVAC)爪式干泵 GV160 (160m3/h)
英國愛德華羅茨泵 EH1000(280L/S)
臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英福康高精度真空計、傳感器
◆ 充氣系統
美國MKS高精度電子質量流量計(五路氣體配制)
美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件
